在维护普旭真空泵时，如果真空泵不能达到更限真空度，首先检查真空系统的气密性，看是否有轻微的漏气。其次，打开气镇，泵运行约30米，排出非泵油污染造成的可压缩蒸汽，从而消除可压缩蒸汽对更限真空度的影响。消除上述两个因素后，真空泵不能达到更限真空度的主要原因包括以下几个方面：
如果在普旭真空泵的维护过程中发现泵油污染，则需要换油;泵中的机油滤清器堵塞，导致油路不畅，压缩和喷射系统供油不足，导致泵体密封不严。此时，需要清洁内部机油滤清器。维修普旭真空泵时，发现不能达到更限真空度，可能是由于分油阀变形、磨损或损坏，也可能是供油不足。在这种情况下，检查并更换机油分配器的阀门。
真空泵长期使用会导致转盘磨损或转子弹簧张力不足，导致吸入室和排出室之间隔离不严，导致真空泵的抽真空性能下降。因此，在维护普旭真空泵时，应更换转盘和弹簧，并清洗转子和泵室。检查排气阀，看其动作是否失败，导致排气不良。如有必要，更换排气阀。
普旭真空泵维修要如何进行
普旭真空泵维修中常见的漏油故障之一主要发生在真空泵的油窗、油箱垫片和电机轴承轴封处。主要原因是这些零件老化以及真空泵使用寿命过长导致密封失效，导致漏油。油窗漏油是由于真空泵使用寿命较长导致油窗老化，或油窗与油箱之间的粘合剂老化失效，导致泵漏油。
在维护普旭真空泵期间，电机轴有两个油封，一个前油封和一个后油封。任何老化故障都会导致漏油。油箱通过适配器与电机连接，在油箱与适配器的连接处设有密封圈对油箱进行密封。如果老化，还会导致真空泵漏油。此外，适配器上有一个毛毡垫，用于回收泵油。如果充满油，真空泵就会漏油。
为了解决漏油问题，在普旭真空泵的维护过程中，需要更换老化的油窗、轴封、密封垫和加注泵油的毡垫。普旭真空泵维护完成后，加注前用真空泵油冲洗真空泵，并用溶剂清洗加注口滤网，保持油箱清洁。