在夏泉，没有油泵，真空泵的泵送通道中没有液体工作介质或密封介质，可以在泵送容器中获得干净的真空，并且在排气时不污染环境。它是一种很有前途的真空泵。无油往复泵主要用于半导体工业、制药工业、表面科学和食品工业。设计无油往复泵的关键是活塞环和密封圈或填料函的自润滑材料。目前，使用Z广泛的材料是聚四氟乙烯填充材料
填充的聚四氟乙烯由几种聚四氟乙烯的填料组成，如碳纤维、玻璃纤维、青铜粉、石墨、二硫化钼等的混合物。压制烧结后可加工成活塞环。该活塞环韧性好，不易断裂，化学性能稳定，耐高达250高温和高达00的低温，能在金属表面形成薄膜，摩擦系数小，具有良好的自润滑性能。碳纤维增强聚四氟乙烯(CFRP)新型致密无十字头往复泵
材料，其耐磨性、耐热性、强度和弹性模量均高于其他填充聚四氟乙烯，其自润滑性能优异。近年来，为了减少活塞杆处的填料密封，无油往复泵往往采用无十字头结构。通过这种结构，减小了泵的尺寸和重量，并且降低了成本。但曲轴箱需要抽真空，曲轴伸出端需要用无油机械密封。为了降低往复泵的更限压力，瓦里安公司开发了三级往复泵。它由四个阶梯活塞和四个阶梯气缸组成。活塞后部是小直径部分，活塞后部空间由二级活塞泵送，以减少泄漏和限制压力。每个气缸都有一个进气门和一个排气门。这四个活塞，真空泵维护。