真空泵的维护要注意几个环节：拆卸、清洗、检查和组装。
非常重要的是，真空设备，无论大小，都属于准确机械设备。拆除应遵循轻拿轻放的原则，不得鲁莽从事，不得用大锤敲打。
清洁部件应干净透彻，以便发现问题和隐患。真空泵产品与一般机械产品有很大区别。一般机械产品经常倒角，而真空泵棱角锋利，容易伤手。小心点，记住。不要把墙角翻过来。
检查是一项细致的工作，每一个细节都不应该遗漏。任何细微的地方都可能是问题所在，所以没有机会。
无论真空泵零件是用汽油还是其他溶剂清洗，都需要等到汽油或溶剂完全挥发后才能组装。如果真空泵油与其他油、溶剂或水混合，会损坏其性能，影响真空泵的性能指标。将胶圈擦干净，仔细检查是否有缺陷和裂纹，检查尺寸是否正确。如果尺寸不对，密封会受到影响。任何带加热位置的橡胶圈，每次拆卸清洗时都需要更换，如油增压泵的各个接口，组装时也需要小心处理泵部件;均匀拧紧螺钉，并对角拧紧。动密封是多用途轴封。使用轴封时要小心。检查轴封本身是否有缺陷，密封面是否光滑，轴封簧的弹性如何。轴封的内侧可以涂上一层薄薄的真空润滑脂。使用轴封时，力应均匀。骨架轴封不应有偏差。如果偏了，就会漏油漏气。不要挤镇场子封簧。如果没有轴封簧轴封，它就会失效。注意轴封和轴的同心度。有的泵是对轮连接，对轮子的同轴度要求很严格。组装时，从轴的所有侧面进行测量，以确保平行度和一致性。在罗茨泵，档位调整的关键是两个8型齿轮不会相互碰撞。
扩散泵和喷淋塔内壁清洗后，用电纺烘干。由于国内生产的扩散泵主要依靠电炉丝的长度来控制泵油的温度，因此需要考虑当地电网的实际情况来增加或减少扩散泵油的注入量。喷油量随泵的口径而变化。电网电压低时，可以减油2mm。任何干净的钢尺或铁丝都可以用来测量。由于制造和使用的不同，扩散泵的注油量仅供参考。
记得保养不要太草率。如果故障不清楚，就想当然的开始拆卸。老病不除，新病就加，把简单的问题复杂化了。