20世纪中期，由于真空泵油雾分离器的发展，特别是由于高等级合金真空熔炼的需要，要求解决熔炼真空系统中真空度为I ~ 10-ZTOR时新的抽真空设备抽速高的问题。
当时，无论是适合低真空运行的油封式机械真空泵，还是适合高真空运行的油扩散泵，都无法很好地承担这一任务。由于油封机械真空泵在1-10-ZTOR时泵速严重降低，工作效率很低，如果被迫承受较大的泵速，将需要几个并联才能工作，不可避免地会造成很大的浪费。至于适用于高真空的油扩散泵，它不能在这样的入口压力下工作。因此，在这种情况下，有必要设计一种新型的高抽速、有效率率的真空泵油雾分离器。1044年出现在德国的罗茨真空泵就是为了满足这种需要而诞生的。
罗茨泵于1974年成功应用于真空冶炼，此后发展迅速。我国于1960年开始设计和试制这种泵，并在过去的20年中取得了长足的发展。应用广泛，泵的产量和质量也在不断提高。在我国真空行业，这种真空泵油雾分离器常被称为机械增压泵。
真空泵排气过滤器的主要部件是一个旋转的顽固轮(转子)和一个用弹簧压紧螃蟹的活动夹(旋转刀片)。帘壳和转子之间的间隙分为两部分：吸入工作室和排出工作室。当转子沿箭头方向高速旋转时，在弹簧压力和自身离心力的作用下，紧贴泵体内壁移动和加热的工作室容积不断扩大，泵送气体通过吸入口进入吸入工作室。
同时，排气工作室的容积逐渐减小，气体逐渐压缩，压力上升，当压力上升到一定程度时，排气打开，通过油污，从泵排气口排出。转子每次旋转都有两个吸气和排气过程，使泵腔内封闭的气体体积周期性变化，完成吸气和保压的工作循环，以密封各部分的冷却，使各部分滋润精华。旋转叶片泵的运动部件在夏天不在真空油牺牲。旋片真空泵使用方便，结构简单，工作压力范围大，可在大气压下直接启动。
适用于抽出干气或含有少量可冷凝蒸汽的气体。由于泵的泵送能力小，通常只用于精制室和小型制药设备。注意真空泵和真空系统中的气体净化装置，防止腐蚀性气体或吞入气体进入真空系统，运行中及时检查和更换真空泵油。
真空泵油雾过滤器在钢铁冶炼中已得到广泛应用，但在真空炼铝中应用不多。真空泵油雾过滤熔炼可以去除铝中的杂质，降低气体和非金属夹杂物的含量，提高合金元素的收率，减少对周围环境的污染。
目前由于真空泵排气过滤器生产成本高，耗电量大，仅用于制造高纯铝(99.999%)，或用于原子能反应堆和一些电子工业材料的冶炼。随着未来对铝质量要求的提高，铝的使用越来越多。为了防止公害和开发新材料，真空泵油雾过滤熔炼法的应用将越来越广泛。