真空泵油需要合适的粘度，能使真空泵在低温下快速启动，在高温下密封性能好，泵内温升低。不含轻挥发性成分，降低了真空泵运行时的回油率。
饱和蒸汽压为真空泵油。
饱和蒸气压是真空泵油。在恒温密闭容器中，汽液两相达到动态平衡时的压力称为饱和蒸气压。
油的饱和蒸汽压应尽可能低。在泵的更高工作温度下，饱和蒸汽压仍应足够低，并低于真空泵的更限压力。在60℃的温度下，需要达到至少6.5× 10-5 kPa(温度每升高20℃，饱和蒸气压就会下降一个数量级)。
更限全压和更限分压为真空泵油。
更限总压:真空泵内所有物质(气体)产生的总压，用皮拉尼计或热电偶真空计测量。目前国外重视总压的测试指标。
更限分压:用水银真空计(麦克斯韦尔计)测得的泵的更限空气分压，两级旋叶片泵的分压应≤6×10-5kPa。要求更限全压和更限分压之间的差值不超过一个数量级。它们之间的差异越大，真空泵油/中含有的挥发性成分越多，油品的性质越差。
真空泵油
摩擦表面的摩擦和磨损、表面的疲劳和腐蚀都与光滑状态有关。真空泵油的良好性能有利于克制腐蚀和磨损；能有效减少粘着磨损和外观疲劳磨损；流体平滑剂可以清洁摩擦表面，减少摩擦和磨损。降低摩擦阻力，节约能源，减少磨损，延长机械寿命。