真空泵维护是一种修复技术。当真空泵在及时运转时，由于某些部件的摩擦和内外力的作用，真空泵的工作效率降低或真空泵停止。此时，需要修理和更换磨损或破损的零部件。再者，对精度要求高的缸体和转子要进行修复，达到真空泵效率和真空泵性能的要求。这些步骤是真空泵维护技术的整体体现。
真空泵维护中常用的几种方法
一.镗缸
镗缸是干式泵常见的维修方法。主要针对气缸套过度磨损的现象。
镗缸主要分为以下步骤:
粗镗-精镗的加工余量为0.10毫米
精镗-珩磨余量为0.03毫米
珩磨-达到规定的尺寸和表面粗糙度。
清洗——仔细清洗缸体，然后将成对的活塞放入缸内检查配合，更后给气缸涂上润滑油，防止生锈。
二、泵体清洗
这里主要介绍油类真空泵的清洗工艺。当你看到清洁这个词时，你可能会认为这是一个简单的步骤。其实这一步看似简单，却是非常重要的过程。一般厂家为了降低成本，只是用汽油或者水清洗油箱和泵头。其实这远远不够。油型真空泵在高温下长期运行，会导致真空泵油乳化碳化，形成粘稠物质附着在油箱和泵头上。如果不及时处理，会停留在真空泵，影响维修后的性能和使用寿命。因此，要解决这一问题，需要在超声波清洗后使用专用清洗剂。
三。零件补充
更换原来损坏或断裂的零件。这个过程中零件的精度比较重要，选用的零件要符合泵体装配的精度，防止装配后出现任何异常。
真空泵的故障往往是日常使用不当造成的，所以真空泵的日常运维非常重要。