真空分子泵是使机械真空泵在抽气机理上有了新的突破。分子泵的抽气机理与容积式机械泵靠泵腔容积变化进行抽气的机理不同，分子泵是在分子流区域内靠高速运动的刚体表面传递给气体分子以动量，使气体分子在刚体表面的运动方向上产生定向流动，从而达到抽气的目的。通常把用高速运动的刚体表面携带气体分子，并使其按一定方向运动的现象称为分子牵引现象。因此，人们将盖德发明的分子泵称为牵引分子泵。
真空分子泵的抽气机理与机械泵靠泵腔容积变化进行抽气的机理不同，利用了动量传递原理，使分子定向流动而被排出泵外，从而达到抽气的目的。因其工作稳定可靠，在分子流态下具有很好的抽气效率，已经成为清洁高真空、更高真空应用领域的主流获得设备，在科学仪器、工业生产设备中得到广泛应用。真空分子泵性能特点体积小、重量轻、噪音低；更限真空度高；设有气镇阀，可抽除少量水蒸气；内装强制进油，润滑充分，性能可靠；保持进气压强为1.33×10Pa时仍可连续运转；不漏油、不喷油、不污染工作环境,排气装置有专配油雾收集器；可以配备小口径转换接头和国际标准的KF接口。
真空分子泵维修广泛应用在航天、航空、原子、石油、化工、制药、电工、陶瓷、冶炼、新材料、真空热处理、真空镀膜等行业。滑阀真空机组具有显著的节能效果，真空度高，高真空区间抽气量大，可广泛应用于电力工业的变压器、电线电缆、电容器的真空浸渍、真空干燥工艺中。是真空镀膜、真空冶炼、真空热处理、真空滤油、冷冻干燥；航空模拟试验较理想的真空设备。如抽吸含有少量水蒸汽或少量粉尘的气体，应加装过滤装置。