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启动分子泵条件有哪些
浏览次数:0 日期:2022-11-23
分子泵启动的条件:启动条件:连接无误、无漏、冷却、润滑、真空度启动时间:同时启动——小系统,防前级泵油上返。延迟启动——系统容积过大,先启动前级泵,至系统压强P=200Pa时,启动分子泵,真空技术出现在许多高科技应用中,例如半导体加工、质谱仪和材料加工。这种技术利用真空泵从密闭的真空室中抽出空气分子,从而创造出一个低压环境。涡轮分子泵属于真空泵的一种,它由叶片状涡轮构成。现代涡轮分子泵的叶片旋转速度更快,高达90,000rpm,泵使用了由多个圆盘和不同类型的叶片构成的多叶片结构。靠近入口的叶片抽气速度快,压缩比小,而靠近出口的叶片具有相反的特性。
分子泵具有提供超清洁、无碳氢化合物的真空环境的能力,故常被用户选用。然而,用户也偶尔会发现涡轮分子泵提供不了不含碳氢化合物的真空环境。经调查发现碳氢化合物的来源,50%是操作失误所带来的问题,如涡轮分子泵的前级泵为油封式旋片泵时,没有控制返流的更安全阀,不合理的放气程序都会引起油蒸汽的返流,不合要求的更安全阀也会引起油污染。
分子泵关闭或运转更慢时,泵将不再有足够大的压缩比(泵内压力梯度)来阻止前级侧存在的碳氢化合物通过涡轮叶片向真空室进行返流。这种现象称作反扩散或分子返流。在静态条件下,整个系统的压力均衡时,在前级管道侧,油的分压力通常为10-4~10-6Torr(或13.33mPa~133.3μPa)然后也会波及到泵的入口处。当泵关闭时,适当地给泵内充气是控制油分子返流,保持真空室内无碳氢化合物的一种有效的措施。