涡轮分子泵的工作原理、结构类型及其优缺点有哪些？专业分子泵维修厂家天之华来给大家讲解
涡轮分子泵是一种真空泵，它利用高速旋转的动态叶轮将动量传递给气体分子，从而产生气体的定向流动。
涡轮分子泵的优点是启动速度快，能抵抗各种射线照射，抗大气冲击，无气体储存和解吸效应，无油蒸汽污染或污染少，可获得清洁的更高真空。涡轮分子泵广泛应用于高能加速器.可控热核反应装置.重颗粒加速器和真空，需要重颗粒加速器和真空镀膜。
为了使用涡轮分子泵获得清洁真空，国外使用干式机械泵作为前级泵，形成无油真空系统。然而，目前国内涡轮分子泵以油封机械泵为前级泵，形成油真空系统。如果操作不当，很难避免油蒸汽回流和污染真空系统。国内外都有一些有效的防止回流的措施和成功的操作经验。
应用：如今，涡轮分子泵在现代半导体工业中的应用越来越多。例如溅射。.刻蚀.蒸发.注入.分子束外延.离子处理和其他设备需要在真空环境中运行。另一个例子是电子显微镜、表面分析仪器、残余气体分析仪和氦质谱检漏仪。涡轮分子泵也用于抽真空。此外，在宇宙模拟设备中.核聚变装置.太阳能集热管涂层生产线也采用大型涡轮分子泵或低温泵，防止油蒸汽污染，而不是油扩散泵系统。因此，在过去的十年里，涡轮分子泵，在中国.外部得到了显著的改进和发展。随着涡轮分子泵的应用越来越多，干式前泵尚未普及和应用，有时需要使用油封机械泵作为涡轮分子泵的前泵。因此，鉴于这种情况，正确选择和操作涡轮分子泵是非常重要的。
确保涡轮分子泵适合工艺过程是很重要的。操作员需要泵制造商的详细建议，以及有关工艺及其特点的准确信息。这两个方面目前都需要改进。对于腐蚀过程，特别是在半导体行业，需要使用合成滚珠球轴承分子泵的密封气体操作泵PFPE转子由耐腐蚀材料(如镍或陶瓷涂料)制成。
密封气体，如干氮，可以在这些与迷宫密封相连的滚珠轴承外形成一层非常好的防腐和防尘保护膜。需要考虑到前级泵的尺寸。提供的密封气阀可以调节密封气流。密封气体压力需要符合操作手册中规定的要求。
当泵中的氧气浓度高于大气中的氧气含量时，确保矿物油不会被氧气氧化，从而失去润滑性能。这可以通过使用氮气作为密封气体和/或PFPE油来避免。
对于形成沉积物趋势的过程，例如CVD在（化学气相沉积）中，涂层工艺将继续在转子和面向处理室的外壳部件上进行。这将导致不平衡和振动，导致转子破裂。在这一过程中，考虑这些预防措施和额外的监测方案是非常重要的，即使在设计处理室时。