分子真空泵是一种真空泵，它利用高速旋转的转子将动量传递给气体分子，使之压缩、排气的一种真空泵。分子泵维修厂家天之华来给大家讲解一下：
可分为：
1、牵引分子泵：气体分子与高速运动的转子发生碰撞，得到动量，被驱动到泵出口。
2、涡轮分子泵：通过高速旋转的动叶片和静止的固定叶片相互配合来抽气。这种泵通常在分子流中工作。
3、复合分子泵：是一种复合分子真空泵，由涡轮和牵引分子泵串联组成。
应该如何清洗分子泵？
(1)关掉分子泵，进行排气。
(2)小心地从设备上取下分子泵，注意不要触碰接口的边缘，以免影响密封性。
(3)卸下冷却器、润滑油包等。
(4)将分子泵的高真空接口向下，垂直放置在一个容器中，容器中有无水酒精，液位高度略低于前真空接口。
(5)上下移动分子泵数次，便于清洗分子泵的定子和转子叶片。更换无水酒精，添加新的无水酒精，至少重复一次。每次浸泡在无水酒精中约5~10min。
(6)取出分子泵，将高真空接口向上，然后慢慢放平，以排出磁性轴承中的酒精。
(7)在高真空接口上放置一个网格，然后向下放置30min以上，排出清洁酒精，注意不要损坏接口的密封面。
(8)连接前真空泵，关闭分子泵时，使用前真空泵抽真空，使真空度达到10左右^-1Pa为了透彻清除分子泵中残留的无水酒精。
(9)由于前级真空泵中含有酒精，需要更换前级泵真空油。
(10)连接分子泵开始工作，因为处理后，分子泵中仍有残留的酒精，所以初次抽真空比较慢，属于正常情况。