涡轮分子泵是质谱仪（液体或气体）的核心部件之一。在正常工作状态下，其转速高达50000转/分甚至更高。如果质谱长期运行，如果不对其分子涡轮泵进行必要的维护，将直接造成损坏。根据作者的经验，质谱上分子涡轮泵的故障按严重程度分为以下三类：
1)例如，2017年报道的涡轮泵直接解体1；
2)涡轮泵因轴承磨损引起的温度升高和振动加强而停止工作；
3)涡轮泵电源故障。
其中，一种故障无法修复，需要直接更换新泵。居二类和第三类遇到了更多的情况，并且有一定的相关性。当涡轮泵的轴承性能下降时，会导致泵在正常工作状态下负荷增加，从而导致电源故障。
那么，我们应该如何正确使用质谱来降低涡轮泵故障的可能性呢？根据专业的涡轮泵制造商分子涡轮泵使用手册要求:分子涡轮泵使用17500小时后更换密封油盖，使用35000小时后更换轴承2。
现在我想和大家分享一下分子泵维修的经验和居二类故障的维修经验(第三类故障相对来说是很轻微的，需要从电路的角度来解决，这次就不分享了)。分享的是质谱仪分子涡轮泵的维修。故障现象:仪器运行过程中噪音突然外加，居二天发现仪器报错，分子涡轮泵转速为0。初步判断分子涡轮泵轴承磨损严重，然后拆下机器，取出分子涡轮泵进行检测(分子涡轮泵）。
分子涡轮泵
分子涡轮泵配置为一般涡轮泵，前端采用磁悬浮轴承。一般来说，磁悬浮轴承不需要维护，因为没有摩擦，所以在维护和维护分子涡轮泵时尽量不要移动这部分。拆下分子涡轮泵后，拆下电源控制器和散热控制器和散热板，找到本次维护的后端轴承。拆下密封盖后，轴承变黑（高温碳化润滑油），轴承珠框架分散。轴承通过石油醚超声波冲洗滚筒槽中的许多黑色颗粒，这显然是珠框上的碎片。
分子涡轮比维护轴承轴承
这种故障是由于缺乏维护和过期使用后严重磨损而导致的典型涡轮泵轴承的分子涡轮泵损坏。一般情况下，更换轴承和密封油盖后，仪器可以恢复正常。