针对这种不一样种类的干式真空泵，大家都期盼可以将其物理学规格减少。但这与真空泵的抽真空速度相分歧，由于真空泵的抽真空速度与真空泵的容量正相关，物理学规格小代表着容量也小。下面小编给大家分享关于干式真空泵的五种方式以及使用特点的内容，欢迎阅读！
干式真空泵的五种方式：
一、双圆碎片式
双圆碎片式的多级别设计方案促使汽体通道非常繁杂，而且每主要都需要很大总流量的N2具有稀释液和隔离作用。另外，为了更好地做到好的真空值，对各个的空隙有十分严苛的规定。自然，这类设计方案因为提升了內部的发动机压缩比而促使其用电量相对性较低。
二、三叶圆碎片式
三叶圆碎片式设计方案和所述方式设计方案的基本原理同样，仅仅在转动一圈里将汽体分成三份而不是像双圆碎片式分成二份。为了更好地进一步减少用电量，在传动系统一部分有的生产厂家采用2个直流马达，但这也会造成 扭距减少，重启的工作能力—降低。
三、整体式（罗次 爪）
整体式（罗次 爪）设计方案用罗次来提升 在较低工作压力下的抽真空有效率率，用爪来提升 在较高工作压力下的抽真空有效率率。它的基本概念和汽体通道同前边详细介绍的圆碎片式设计方案同样。也一些生产厂家将其终主要改成星形设计方案，那样能够在转动一圈里将汽体分成五份，如同三圆碎片式设计方案能够将其分成三份。
四、外界缩小型螺杆式压缩机
在外界缩小型螺杆式压缩机设计方案中，应用一对定距挤出机螺杆。这促使內部缩小减少，另外促使汽体通道简易。那样，汽体在泵身体滞留的時间也短。这类设计方案但在繁杂的半导体材料加工工艺中主要表现出的可靠性十分强。
五、內部缩小型螺杆式压缩机
挤出机螺杆间容量的持续减少促使其內部造成缩小。在许多加工工艺中，这类內部缩小同多级离心泵一样，非常容易导致汽体在泵身体的物理学转变而造成干固或汽化。
干式真空泵的使用特点：
(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速；
(2)转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可大大降低驱动功率，从而可实现较高转速；
(3)泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染；
(4)泵腔内无压缩，无排气阀。结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感；
(5)压缩比较低，对氢气抽气效果差；
(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面，加工和检查比较困难。