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阿尔卡特真空泵在半导体行业的优势以及拆卸步骤

浏览次数：0 日期：2022-11-17


阿尔卡特真空泵，是一个国际性的真空泵品牌，为客户提供真空泵、检漏仪、真空计以及微加工系统等。阿尔卡特的机械泵（油润旋片泵、干式真空泵）广为人知，抽速从0.5L/S到30L/S，广泛应用于捡漏、冷冻干燥、化工分馏、微电子工业、分析仪器、冰箱空调生产线等各种行业。下面小编分享关于阿尔卡特真空泵在半导体行业的优势以及拆卸步骤的内容，欢迎阅读！
阿尔卡特真空泵在半导体行业的优势：
1.消除了工艺过程污染油或油搭载进入尾气处理系统的风险
2.不会产生废物、或者污染宝贵的溶剂、产品或环境
3.它是完全干燥的，对上下游工艺没有任何污染
4.干式真空泵中不会发生任何腐蚀
5.效率更高，耗电更少
6.吸入的溶剂或其他有用的成分可以在泵的出口直接回收
阿尔卡特真空泵的拆卸步骤：
1．放油
2．松开进气咀法兰螺钉，拔出进气咀，松开气镇法兰螺钉，拔出气镇阀。
3．拆下油箱。
4．拆除止回阀开口销，拆下止回阀叶轮。
5．拆除支座与泵的连接螺钉，拆下泵部装件，电机拆否视方便而定。
6．松开泵盖螺钉，拆下泵盖，拉出二转子及旋片。拆下低级转子时，先拆下开口销。