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分子泵出现这种情况要找专业分子泵维修厂家

浏览次数:0 日期:2022-11-05


专业分子泵维修分子泵是涡轮分子泵、牵引分子泵和复合分子泵的统称,是一种非常常见的获得高真空和更高真空的设备。分子泵内部有高速旋转的转子,支撑转子平滑转动的轴承承担了很大的负荷,正确的使用和及时的保养,对分子泵轴承乃至整个分子泵的正常工作意义重大,分子泵的冷却方式有三种:自然冷却、强制风冷和水冷。300l/s以下的分子泵,在没有气体负载的情况下,可以采用自然冷却;较大的分子泵或者有一定的气体负载时,需要选择强制风冷(风扇冷却);对于有些负载很大的应用(比如CVD),或者不方便使用风扇的环境(如辐射环境),需要采取水冷,无论采取哪种冷却方式,分子泵工作的环境温度都要保持在5-35摄氏度之间,采取水冷时,要采用经过处理的软水,冷却水的温度和流量也要满足说明书的要求。
分子泵工作时转速很高(数万转/分钟),加减速过程中,不可避免的要经过某些危险的共振频率,长时间在这些共振频率运转,会增加轴承负荷、进而增加分子泵故障的风险。在真空下自然停泵(空挡滑行)时,由于真空下空气阻力很小,分子泵转一般建议分子泵停机时,手动或者通过专用充气阀(VentValve),通过充气口充入空气/氮气,增加转子阻力使其快速停机;手动充气时,要注意控制充气速度,使停机时间和分子泵启动时间相当(根据泵的大小不同而不同,一般为3-10分钟)。
分子泵出现这样的情况需要尽快寻找专业分子泵维修厂家维修分子泵是高速旋转的机械,轴承故障可能会造成泵叶片打碎直接报废;而当轴承工作状态不良时,会有一系列的现象,如分子泵无法启动,运行噪音外加,温度或功率异常增加等,在排除外界环境和进排气压力过高等外界因素后,应尽快停泵,送到维修主题进行检修。