真空分子泵常用的真空泵有旋片真空泵、罗茨泵、干泵、分子泵和冷泵等。扩散泵已经很少使用。旋片真空泵可以接上N2气镇,防止被抽气体在泵油中凝结;接过滤器,过滤泵油中的杂质;接油雾过滤器和自动回油装置,减少油的损耗。旋片真空泵分成普通型和防腐型，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵可以定义为：利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。更限压力(更限真空)从粗真空到10-12Pa以上的更高真空范围。
真空分子泵维修对真空泵进行以下这些分类：动量传输泵（分子真空泵）依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即变容真空泵和动量传输泵。变容真空泵是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵。气体在排出泵腔前被压缩。变容真空泵又分为：往复式，旋转式（旋片式、滑阀式、液环式、罗茨式、螺旋式、爪形转子式），其它型式。
真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵。真空泵的价格、运转及维修费用。