分子泵的基本结构基本定型为卧式和立式两种。卧式分子泵具有抽气时转子受力均匀，轴承定位受力状态好，使用寿命长，轴承更换过程中转子位置不动，维修方便等特点。立式分子泵的装配工艺要比卧式分子泵简单，所以近些年立式分子泵的发展速度很快，分子泵诞生至今，已有近百年的历史，随着各项科学技术的不断进步，分子泵技术也取得了许多创新与突破，现代分子泵更是朝着智能、灵活、有效率的方向发展，分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。由于简式牵引泵型线沟槽开在转子圆柱外表面或泵体内表面上，因此可以充分利用圆柱外圆较高的线速度对气体分子进行动量传递，提高泵的抽气效果。
分子泵维修常见问题分子泵为何会发生半边热，半边冷的现象？原因是附近有光照或其他热源解决方法：避免光照或热源，分子泵使用中发现油发黑，请问油为什么发黑？或者多长时间油才会变黑？原因：冷却不良，负载太大解决方法：检查冷却系统，检查真空系统分子泵在运转过程中，出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常，之后又下降至一定频率，再恢复到正常，反反复复，更换电源后现象仍如此，请问该现象如何解释？原因：负载太大，系统真空度不够解决方法：检查系统，分子泵叶片破碎的原因：是异物掉入;没有安装过滤网肯定不行的，另外掉进去的东西不一定要多大，但如果硬度够了一样会造成伤害，轻则造成叶片边缘被打成锯齿状，重则打碎叶片。所以现在的设备商在安装分子泵的时候会尽量改为侧面90度或倒立安装，避免异物掉入。电压的不稳定，特别对磁浮类的分子泵损伤较大。前级泵的效率差;我们知道腔体内的大部分气体首先是通过前级泵抽出，真空达到一定程度分子泵才会启动。如果前级泵的效率差，分子泵就会比较吃力，启动速度慢，抽气时间长，电流高，分子泵温度升高等。
分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。半导体的各种生产工艺都需要在分子泵维持的高真空环境下进行，因此对真空系统和真空设备的洁净度也有着很高的要求。