真空分子泵是涡轮分子泵、牵引分子泵和复合分子泵的统称，是一种非常常见的获得高真空和更高真空的设备。分子泵内部有高速旋转的转子，支撑转子平滑转动的轴承承担了很大的负荷，正确的使用和及时的保养，对分子泵轴承乃至整个分子泵的正常工作意义重大。另外，分子泵在加速时功率较大，内部发热比较严重，频繁的启停（两次启动间隔<30分钟）会造成热量累积，使分子泵内部的温度过高，加剧轴承磨损，真空分子泵在匀速工作时，转子叶片仅受到离心力的作用（真空下阻力很小可以忽略不计），即远离轴心的方向的拉力；而在加速和减速的时候，叶片还受到转动切线方向的力，相当于对叶片进行弯折的力。显而易见，对叶片进行弯折对其疲劳寿命的贡献更大。
真空分子泵特点：脂润滑分子泵：油脂量更小，前级配干泵可获得近似无油的清洁真空，全磁悬浮分子泵：无须润滑，与干泵一起使用，可获得无油的清洁真空环境，油润滑分子泵：润滑油量小，且在前级真空段，对真空室污染小，真空分子泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业，按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。
分子真空泵：它是利用高速旋转的转子把能量传输给气体分子，使之压缩、排气的一种真空泵。它有如下几种型式：牵引分子泵：气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得力量，被送到出口，因此，是一种动量传输泵。涡轮分子泵：泵内装有带槽的圆盘或带叶片的转子，它在定子圆盘（或定片）间旋转。转子圆周的线速度很高。这种泵通常在分子流状态下工作。复合分子泵：它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联起来的一种复合式分子真空泵。