分子泵启动的条件：启动条件：连接无误、无漏、冷却、润滑、真空度启动时间：同时启动——小系统，防前级泵油上返。延迟启动——系统容积过大,先启动前级泵，至系统压强P=200Pa时，启动分子泵，真空技术出现在许多高科技应用中，例如半导体加工、质谱仪和材料加工。这种技术利用真空泵从密闭的真空室中抽出空气分子，从而创造出一个低压环境。涡轮分子泵属于真空泵的一种，它由叶片状涡轮构成。现代涡轮分子泵的叶片旋转速度更快，高达90,000rpm，泵使用了由多个圆盘和不同类型的叶片构成的多叶片结构。靠近入口的叶片抽气速度快，压缩比小，而靠近出口的叶片具有相反的特性。
分子泵具有提供超清洁、无碳氢化合物的真空环境的能力，故常被用户选用。然而，用户也偶尔会发现涡轮分子泵提供不了不含碳氢化合物的真空环境。经调查发现碳氢化合物的来源，50%是操作失误所带来的问题，如涡轮分子泵的前级泵为油封式旋片泵时，没有控制返流的更安全阀，不合理的放气程序都会引起油蒸汽的返流，不合要求的更安全阀也会引起油污染。
分子泵关闭或运转更慢时，泵将不再有足够大的压缩比（泵内压力梯度）来阻止前级侧存在的碳氢化合物通过涡轮叶片向真空室进行返流。这种现象称作反扩散或分子返流。在静态条件下，整个系统的压力均衡时，在前级管道侧，油的分压力通常为10-4～10-6Torr（或13.33mPa～133.3μPa）然后也会波及到泵的入口处。当泵关闭时，适当地给泵内充气是控制油分子返流，保持真空室内无碳氢化合物的一种有效的措施。