1.切断电源，拔下电源插头。如果泵在系统上，应从设备上取下。
2.拧下放油螺栓放油，用手移动皮带轮，释放泵腔内所有剩余油。油应该收集好。一般情况下，在真空泵底板下放置一个铁油盘或磁盘常称为方形盘）进行收集，以便于将来蒸馏和回收，避免污染环境。
3.取下皮带，取下皮带轮.键，脱下底板，看电机的质量(如发热(.过脏.有干磨噪声、振动较大等)应修理或送电工洗油修理。
4.首先拆下真空盖板（后盖板，即远离泵轮的一端），并根据不同的螺钉使用不同的工具。对于一般的六角螺钉，可以使用一个固定的扳手。内六角螺钉应使用内六角扳手。如有必要，应使用套筒扳手，以免损坏螺钉。拧下盖板螺钉后，轻轻启动端盖板。如果端盖板紧密，应缓慢启动。例如，可以使用锉刀在泵腔和端盖板之间的接缝处锉一个小槽，然后用螺丝刀（螺丝刀）将其插入小槽中，用手敲击螺丝刀柄，或用小锤轻轻敲击螺丝刀以退出端盖板。不要用重锤敲击。
真空分子泵维修
5.取下橡皮垫圈，用橡皮垫圈密封，退出定位销。
6.取出转子和旋转片。通常，在低转子端，有两把攻丝匕首，用丝杆拧入这把匕首，很容易拉出低转子。但是，拉出转子时要注意用手捏紧旋转片。由于旋转片受弹簧力的影响很大，很容易脱手飞出，落在地上或遇到硬物，损坏旋转片的棱角和表面，导致无端报告。
7.拆下高真空端，取出高转子和旋片。这时，只需用手捏紧旋片和轴即可取出转子。
8.拆泵前，应事先了解待拆修泵的结构特点.每个部件大致属于哪种结构类型。例如，不要拆卸属于组件的部件，如某些旋转泵的转子，可以适当地调整其表面；如果组合转子落入玻璃片中.金属异物损伤腔体或本身的旋片槽已经磨损过多，需要更换配件时，可以拆卸，但要小心记住其装配方法。
9.检查每个零件的精度、光洁度和损坏情况。特别注意旋转片和转子两端的棱角，检查是否有损坏，并做好记录。对于不熟悉业务的泵修理工，他们应该逐渐记住零件.记录零件的原始装配位置，防止重新安装时出现错误。同时，拆下的零件不能放置、堆放、碰撞和丢失。把它放在一个方形磁盘里，或者放在一个木箱里，用丝绸盖住。